[매일안전신문] 본격적으로 반도체 사업의 필수원료인 초순수의 생산기술 국산화를 추진한다.
그동안 우리나라에서는 반도체 사용 용수의 약 50%를 차지하는 초순수 공업용수의 생산·공급을 일본 등 해외업체에 의존했다. 특히 공정설계, 초순수 배관, 수처리 약품 등을 일본에 의존하고 있어 수출규제 등 외부환경에 매우 취약했다.
이에 환경부는 한국수자원공사, 한국환경산업기술원와 '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발' 사업에 착수한다고 밝혔다.
2025년까지 △초 저농도 유기물 제거용 자외선 산화장치, △ 초 저농도 용존산소 제거용 탈기막, △고순도 공업용수 설계-시공-운영 통합 △고순도 공업용수 공정 및 수질 성능평가, △반도체 폐수를 이용한 고순도 공업용 원수 확보 등 5개의 세부과제별 기술개발을 목표로 삼았다. 공공기관과 ㈜에코셋, ㈜네오텍, ㈜클루, ㈜세프라텍, 한성크린텍, 진성이엔씨, ㈜태영건설, 해성엔지니어링㈜, 디에치테크㈜, ㈜케에피아이엔디관련 업계가 추진하는 것이다.
지난 2019년 일본의 수출규제에 대응하기 위해 '고순도 공업용수 설계·시공·운영 통합 국산화 기술개발'은 추진됐다. 국산기술을 활용해 반도체 공정 등에서 사용되는 고순도 공업용수를 생산·공급하는 기술개발(R&D)이다.
2021년부터 고순도 공업용수 생산을 위한 핵심부품인 자외선 산화장치(UV)와 용존산소 제거용 탈기막 국산화 기술개발에 착수했다.
한국수자원공사는 2025년까지 하루에 2400톤의 초순수를 생산하는 실증플랜트를 실제 반도체 공급업체에 설치·운영할 계획이다. 초순수 생산 시설이 완료되면 반도체 설계·시공·운영 단계별로 쓰이는 초순수 공정의 최대 60%를 국산화할 것으로 기대된다.
또한 현재 실증플랜트 구축을 위해 수요처와 협의 중에 있으며, 구축 및 활용계획 등을 검토하여 실증플랜트를 설치할 대상지를 연내에 확정할 예정이다.
김동진 환경부 수자원정책관은 "고순도 공업용수는 비단 반도체 뿐만 아니라 제약·바이오·정밀화학 등 고부가가치 산업에서 수요가 점차 확대되고 있다"라며, "이번 기술개발 사업이 차질없이 이행될 경우 해외 기술 의존도 탈피와 더불어 국내 수처리 업계의 해외 시장 진출 기반을 마련하는 발판이 될 것"이라고 강조했다.
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